儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)（ASC：Auto Shelf Clean）作用對(duì)象是玻璃基板收納盒（CST：cassette），而玻璃基板收納盒CST是智能倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)（STK）的組成部分，智能倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)STK能夠通過(guò)ASC上的條形碼給識(shí)別每一個(gè)AS，從而安排取放機(jī)Crane的機(jī)械手臂Fork提取ASC主體，這時(shí)ASC就會(huì)偵測(cè)到這個(gè)機(jī)械手臂Fork，就開(kāi)始執(zhí)行吸塵程序，吸取玻璃基板收納盒CST里面的塵埃，保證將要被加工的玻璃基板是一塵不染的。

 ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)測(cè)試

ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)吸塵組分兩部分：

     1、卡匣與取放機(jī)Crane接觸位置吸取點(diǎn)；

     2、卡匣與棚位接觸位置吸取點(diǎn)；

ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)測(cè)試

     通過(guò)STK Crane搬送時(shí)機(jī)構(gòu)接觸到卡匣前后吸取接觸點(diǎn)集塵，減少粉塵顆粒產(chǎn)生，進(jìn)而凈化整個(gè)STK智能倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)內(nèi)部環(huán)境。

ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔還可選配功能：濕度檢測(cè)、溫度檢測(cè)、風(fēng)速檢測(cè)、震動(dòng)檢測(cè)、VOC。

ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)測(cè)試

此外，可通過(guò)無(wú)線通訊反饋 ASC 的電量到 CIM，以便及時(shí)充電，樣板機(jī)電量可持續(xù)工作8小時(shí)。

 ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)測(cè)試

ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)總結(jié)如下：

Stocker Crane Fork→Cleaner CST鐳射傳感器感知Crane Fork→Cleaner CST開(kāi)始吸取Fork particle 15sec→Cleaner CST開(kāi)始吸取Shelf load arm 15sec→脫離Fork與Shelf load arm停止

ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)測(cè)試